多晶硅还原钟罩清洗

时间:2019/7/8 15:50:32

            钟罩清洗不干净、光洁度不够,常常导致硅芯击不穿或产品质量污染,所以钟罩清洗设备对多晶硅生产非常重要。多晶硅还原炉钟罩清洗系统包括低压热水清洗动力装置、三维洗罐器、旋转和升降执行机构、清洗工作台、万级净化干燥系统、循环过滤系统、控制装置、微负压系统、清洗工作台、电气控制系统等,系统实现了钟罩的全自动清洗和烘干操作,具有节能、环保、安全的特点。以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头,形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力扫射,用专用清洗剂等为主要清洗液,用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗,用高纯水冲洗,完成清洗过程。用经过三级净化(10万级)的纯净空气,梯级加热,最终保证烘干完的钟罩不再结露,方可直接进入生产作业。

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